传统过滤器因为效率和压降问题,不仅自身需要频繁更换,且要消耗大量的风能。而恒效运行的自动除尘净化系统由于无需自动过滤器,机组压力适中保持在15-20pa,不消耗风能。例如:一个约有1120m3空间欲做10万等级的无尘车间,采用新技术只要采用5.5kw主机(造的起,用得起),传统模式需18kw主机。新技术可以做到不更换任何耗材三年后检测数据等同于新机效果,开机时间持续越长洁净度越高,这是传统技术-的。
对于乱流洁净室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求:
1、送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度。
2、吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0。2m/s。
在我国,《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范))都是这样规定的
垂直平行流(层流)洁净室***0。25m/s
水平平行流(层流)洁净室***0。35m/s
对于半导体工业而言,无尘室是一-且不可缺之设备,其对空气中的粒子要求非常之严格,故对-、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输,而清除地板所用者大部分为消毒的-及化学-,当我们看见地板磨损时,也就是使用期已太久,快破了,不仅会使得清静度的降级,也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。
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