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无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘室主要之作用在于控制产品如硅芯片等所接触之---的洁净度日及温湿度,使产品能在一个---之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的a。
无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
气流是控制洁净度与温湿度的主要因素,它对噪音也有一些影响。因此风速测量,都是放在无尘室测试的步。风速测量的目的,是确认滤网送出的气流满足设计规范,其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的---,室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。发尘量无尘室内的发尘量,来自设备的可考虑通过局部排风排除,不流入室内。
无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素,一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一---之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。无尘车间地址的选择应符合有利生产、方便生活、节省投资和经营费用的原则。
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