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真空腔体产品特点

沈阳鹏程真空技术有限责任公司——真空腔体供应商，我们为您带来以下信息。

1.真空环境使用，高低温真空环境使用；采用不锈钢，铝，陶瓷等出气率低的材料制作；

2.标准化设计，可根据客人要求定制不同形状与使用环境腔体；

3.---气检漏，保压老化，达到客户的要求。

应用范围：军类单位，大专院校，科研院所，航空航天，生物制药，微电子，新能源，新材料等等。

真空腔体概述

真空设备包含很多组件，如真空腔体，真空密封传导件，视口设置，真空传感器，真空显示表，沉积系统，蒸发源和蒸发材料，溅镀靶材，等离子刻蚀设备，离子注入设备，真空炉，真空泵，法兰，阀门和管件等。真空设备常用于脱气，焊接，制备薄膜涂层，生产半导体/晶圆、光学器件以及特殊材料等。

基板指的是一个大的法兰适配器，可以把一个位置低的腔体或者钟形罩连接到真空泵。基板通常有一个位于中心位置的端口或者法兰连接装置，可连接到真空抽气系统。

脱气箱或者脱气室通常是腔体结构，一般带有铰链接口，可连接不需要高真空环境的其他装置，如塑料样品、---、粘合剂、化学制品或其他液体的除气设备。

辅助井用于连接抽气系统和钟形罩。

基地井整合了基板和真空密封颈，用焊接接头取代一个真空密封件，可以同时实现基板和密封设备两个部件的功能。

真空腔体——真空度的分类

真空腔体可以按照真空度进行分类，包括粗或低真空度(< 760, >; 1 torr)，中真空度(< 1, >;10-3 torr)，高真空度(< 10-3, >;10-8 torr)，真空度(< 10-8 torr)，以及非真空的高压力 (>; 760 torr)。真空腔的宽度和外径等常规尺寸是非常重要的参数。标准钟形罩或柱形腔体的可选直径是12英寸，14英寸，18英寸和24英寸。

真空腔体或者真空组件的可选项包括法兰、装配形式、表面抛光或电抛光、开口或传导口，加热器和冷却方式等。