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。一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组。r5ra0063/0100f由直接在法兰上安装的标准电动机效率等级ie3驱动。这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的---，即前级高于某一压力，泵就不能正常工作。而当前级泵达到这一临界压力时，往往抽速会减小，这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量，这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求，必然会引起真空机组不能正常工作。