江西正压-质谱检漏设备公司给您好的建议 华诚浩达真空设备公司
正常运行时,空气经过漏点被吸入凝汽器后被真空泵抽出,排至---。试验时在真空泵入口的空气管上接一根软管至---质谱检漏仪,在真空系统的漏点处喷---气,由于---质谱检漏仪工作时能形成比水环式真空泵更高的真空,因此,漏入真空泵入口管上---气与空气的混合元体,有一部分被吸入到---质谱检漏仪,由于---分子与其他分子不一样,通过磁场产生的偏转磁力不一样,---质谱检漏仪上设计有一狭缝,刚好使---分子通过而其他分子无法通过,这样,通过狭缝后的---分子打在收集板上,通过靶板计数,即可知道通过的分子数泄漏量的相对大小。
---质谱检漏仪离子源的作用是使气体分子电离,形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝(阴级)、离化室及离子加速极组成。
灯丝在真空中通电加热后发射电子,在离化室与灯丝之间的电场作用下,电子加速穿过离化室顶部狭缝进入离化室,在离化室中与气体分子发生多次碰撞后损失能量,z后打到离化室上形成电子流,成为发射电流的一部分。电子在运动的过程中碰撞气体分子而使气体分子电离形成正离子,正离子在离化室与加速极之间的电压u(即离子加速电原)作用下,相继穿过离化室正面的矩形狭缝和加速极的矩形狭缝,由于加速电场对离子做的功转变为离子的动能,便形成具有一定能量的离子束。
氮质谱检漏仪是用---气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度---,用得普遍的检漏仪器。
---质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lo-9~10-12pam3/s,广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声---减小.其灵敏度可达10-14~10-15pam3/s,适用于真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流---质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10-12pam3/s。
---质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
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