MBE分子束外延设备厂家信息「多图」

电子束镀膜原理

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电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。电子枪有直射式、环型和e型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得---的能量密度，可达109w/cm2，加热温度可达3000～6000℃，可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中，可避免坩埚材料的污染，制备高纯薄膜；另外，由于蒸发物加热面积小，因而热辐射损失减少，热效率较高。?适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜，也可用于生产线前期工艺试验等。但结构较复杂，且对较多的化合物，由于电子的轰击有可能分解，故不适合多数化合物的蒸镀。

电子束镀膜机部件介绍

镀膜室：

采用立式、前开门结构，外壁通冷却水。镀膜室尺寸φ450×h600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块材质：304真空不锈钢， 厚度***1 mm,镀膜室及前开门材质：304真空不锈钢，镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术；焊接完成后，镀膜室包括抽气管道、连接法兰等均进行内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理，以减少出气量。配套相应蒸发坩埚内衬,以适应不同材料,---蒸发速率稳定性,重复性。

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电子束镀膜有哪些特点？

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★ 完全封闭的系统框架设计，外观更漂亮，使用更安全；是一台---美学和用户操控体验的全新升级产品；

★ 前开门真空腔体，方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护；

★ 可定制一体化高的精度刻蚀掩膜板；基片台公转，转速0～25rpm连续可调；平板基底衬底可选择加热或水冷；

★ ---的薄膜均匀性和重复性，采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；

★ 可沉积金属au, ag, al, ti, pt, mo, fe, cr, ni等、化合物ito等及有机物材料进口电子枪。

双枪电子束镀膜机介绍

电子枪蒸发是到目前为止应用较多的一种蒸发方式，它可以蒸发任何一种镀膜材料，它的工作方式是：将镀膜材料放在坩埚里面，将蒸发源制作成灯丝形状，采用一专门的控制柜，对灯丝加一强电流，高电压，由于灯丝的材料是钨，所以它会-，然后会发射电子，再采用一定的磁场将其---成一定形状，并牵引到坩埚上，这样就形成了一股电子束，由于电子束温度非常高，可以熔化任何镀膜药材，当镀膜药材被电子束熔化后有些材料是直接升华，药材的分子原子或者离子在真空中成直线运动，然后遇到基板，就凝结下来，经过这种方式生长，形成薄膜！6-10kwe型电子枪可选国产或进口，可选配离子束清洗及辅助镀膜功能。

常用的有将电子束的偏转角制作成270度，、或者运行轨迹为e型的e行电子枪或者电子束偏转角180度，运行轨迹为c型的c型电子枪两种。

期望大家在选购电子束时多一份细心，少一份浮躁，不要错过细节疑问。想要了解更多电子束的相关，欢迎拨打图片上的热线电话！！！