对圆周方向的电阻值的不均匀依然无法-。
此外,采用连续-法时,如果-时的热传递没有设法尽量达到均匀,则挤压后的-速度不一致,这样可能电阻值的不均匀程度反而大于间歇式-法。-是在圆周方向上这种倾向更-。
采用连续-法时,在挤压机的挤压筒内的半径方向上有非常大的剪切速度分布,这可能会影响电子导电性填充剂的分散。
在所有应用产业中,半导体产业对靶材溅射薄膜的品质要求是苛刻的。如今12英寸300衄口的硅晶片已制造出来.而互连线的宽度却在减小。硅片制造商对靶材的要求是大尺寸、高纯度、低偏析和细晶粒,这就要求所制造的靶材具有-的微观结构。此外,采用连续-法时,如果-时的热传递没有设法尽量达到均匀,则挤压后的-速度不一致,这样可能电阻值的不均匀程度反而大于间歇式-法。靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉积率的关键因素。另外,薄膜的纯度与靶材的纯度关系-,过99.995%4n5纯度的铜靶,或许能够满足半导体厂商0.35pm工艺的需求,但是却无法满足如今0.25um的工艺要求。
各种纯度铝中的杂质含量及剩余电阻率如表2所示。超纯金属超纯的纯度也可以用剩余电阻率来测定,其值约为2×10-5。现代科学技术的发展趋势是对金属纯度要求越来越高。科技的进步和发展,使传统产业发生剧烈的变迁,也使-的供求状况出现急剧的变化,这种变化也是导致了-的价格出现剧烈波动的因素之一。因为金属未能达到一定纯度的情况下,金属特性往往为杂质所掩盖。不仅是半导体材料,其他金属也有同样的情况,由于杂质存在影响金属的性能。
钨过去用作灯泡的灯丝,由于脆性而使处理上有困难,在适当提纯之后,这种缺点即可以克服钨丝也有掺杂及加工问题。
稀土金属制取(preparation of rare earth metal),将稀土化合物还原成金属的过程。还原所制得的稀土金属产品含稀土95%~99%,主要用作钢铁、有色金属及其合金的添加剂,以及用作生产稀土永磁材料、贮氢材料等功能材料的原料。瑞典人穆桑德尔(c.g.mosander)自1826年先制得金属以来,现已能生产全部稀土金属,产品纯度达到99.9%。铟锡台金靶材可以采用直流反应溅射制造ito薄膜,但是靶表面会氧化而影响溅射率,并且不易得到大尺寸的台金靶材。常用的方法有金属热还原法制取稀土金属和熔盐电解法制取稀土金属 。
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