高纯供气系统报价咨询 艾明坷
1.有部分气体具有毒、强腐蚀等特性,其一旦泄漏,就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害;
2.多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆1炸等---化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害;
3.多数气瓶出口压力1高可达15mpa,即150公斤/cm2,如果发生气瓶口减压装置失灵,就有可能将一些部件激1射出去,其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。
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指气瓶至仪器终端之间连接管线,一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成,输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体。
使用的气瓶和备用气瓶之间有一个半自动调节阀来控制。所有气体管路都是高的、完全退火、无缝不锈钢ss-316l。所有氧气管路都需完全清理干净,使其适合氧气使用。气体管路需要有安全压力释放阀门、压力调节阀门、压力表来指示气体压力。
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供气系统材料选择的基本原则是: 一是不宜用非金属材料,二是材料不吸附气体、不产生气体,三是不产生粒子。一般气体管道宜采用无缝钢管,当输送气体的纯度***99.99%时,管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管; 管道与设备的连接段宜采用金属管道,如选用非金属软管,宜采用聚四氟乙烯管、聚管等工程塑料管,不应采用乳胶管;氢气和氧气管道使用的部件、仪表应是该介质的产品,不得使用替代品。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。其它部件的选择应给出设计建议,如输送阀门和氧接触部分应采用非燃烧材料,其密封圈应使用有色金属、不锈钢、镍基合金等材料; 管道接口法兰垫片的应根据管内输送的气体确定; 管道固定件( 管夹) 应采用耐高温的金属材料,且坚固、轻巧、---。
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