河南真空腔体加工价格服务「科创真空」
电极的几许形状
电极的几许形状对电场的分布有很大的影响,往往因为几许形状不行恰当,引起电场在部分过于集中而导致击穿,这一点在高电压的真空产品中---杰出。
电极边际的曲率半径大小是重要因素。一般来说,曲率半径大的电极接受击穿电压的能力比曲率半径小的大。
此外,击穿电压还和电极面积的大小成反比,即跟着电极面积的增大而有所下降。面积增大导致耐压下降的原因主要是放电概率添加。
空隙间隔
真空的击穿电压与空隙间隔有着比较清晰的关系。试验标明,当空隙间隔较小时,击穿电压跟着空隙间隔的添加而线性添加,但跟着空隙间隔的进一步添加,击穿电压的添加减缓,即真空空隙发作击穿的电场强度跟着空隙间隔的添加而减小。从曲线上可以看出真空度高于10-2pa时其耐压强度基本上坚持不变。当空隙到达一定的长度后,单靠添加空隙间隔进步耐压水平已经好不容易,这时选用多断口反而比单断口有利。
一般以为短空隙下的穿主要是场致发射引起的,而长空隙下的的穿则主要是微粒效应所致。
真空系统中有运动传递的地方会采用动密封,这些动密封结构,很有可能在静态的时候密封---而运动的时候产生泄漏;比如采用橡胶轴封做动密封阀杆与阀体之间的阀门,就比较容易发生这种现象。这种现象发生的概率不高,不过由于检漏时阀门一般是处于打开或关闭的某一个状态,这种动态泄漏很难被发现。烘烤办法有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐子中。
对于非常关键的工艺,选择波纹管密封的阀门可以---减小出现动态泄漏的概率;如果选用的还是轴封做密封的阀门,在检漏时
1. 喷吹法检漏的原理喷吹法检漏是利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,然后在被检产品外表面喷吹---气,当被检产品表面有漏孔时,---气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入---质谱检漏仪,检漏仪会报警并显示当前漏率值。扣板式加热板的表面是镜面的不锈钢板,在平整度上比直接由真空腔体壁抛光更有优势,更利于进行热辐射传导热量。2.喷吹法检漏的优缺点优点:检测灵敏度高
定位准确
对大容器或复杂结构产品的检漏---性高
缺点:漏率检测只能在一个---压差内
不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态
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