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shimadzu tmp-3304lm tmp-3304lmc分子泵进气法兰口vg350/vg300/iso320b，出气法兰口kf40，抽速可达到3200 l/s，转速为27600 rpm，日本岛津磁悬浮tmp-3304lmc分子泵自带集成控制器

日本岛津shimadzu tmp-803lm 涡轮分子泵


   

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岛津分子泵控制器、电源、驱动器维修的部分型号：  

ei-r/s/m系列：

ei-r04m、ei-s04mel/pti 系列el-203、el-303、el-403、pti-1500

ei-d/m系列：

ei-d203m、ei-d303m、ei-d1003m、ei-d1103m、ei-d1303m、ei-d2003m、ei-d2203m、ei-d3153m、ei-d3203m、ei-d3403m、ei-d3603m、ei-d4203m

ei-m/md/me/mt系列：

ei-203m、ei-203md、ei-280、ei-281、ei-303m、ei-1003m、ei-1303md、ei-1500、ei-2001、ei-2001me、ei-2003m、ei-3003m、ei-3203md、ei-3403md、ei-4203mz 、ei-4203mt