静电问题所以在洁净室中--,是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素,而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面,尼龙、的确良等工作服都有-的电阻率,都极易产生静电和集聚静电,在洁净室的静电灾害未被重视以前,这些材料料是被广泛采用的。5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
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乱流式 (turbulent flow)
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(hepa) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板乱流式回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,随风向排出室外,一般在-侧污染较-。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
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