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盐城VIBER X5振动分析仪-总代理欢迎来电「在线咨询」

发布者:昆山金斗云测控设备有限公司  时间:2022-2-22 






昆山金斗云测控设备有限公司goc是一家多元化科技型企业。goc公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。


瑞典vmi viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种,精度为七纳米至几微米之间,光刻机是上精密的仪器,对振动的要求非常高。瑞典vmi viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为vc微振动标准,vc微振动标准分为:vc-a、 vc-b、 vc-c、 vc-d、 vc-e、 vc-f、vc-g。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足cv-d 6.25um/s rms以下。全球名的光刻机制造商荷兰asml要求洁净室的楼板及机台振动必须符合vc-d标准才能实施装机,某名半导体制造商使用瑞典vmi viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集,发现洁净室楼板的振幅只能满足vc-c12.5um/s rms,无法满足cv-d 6.25um/s rms。通过瑞典vmi viber-x5振动分析仪的频谱分析功能,发现了振动超标的频率并成功找到振动源,经过瑞典vmi振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。






瑞典vmi viber x5振动分析仪帮您快速判断轴套松动

使用瑞典vmi viber x5振动分析仪的频谱分析功能发现主要为转速的一倍频,并伴有松动讯号。用瑞典vmi viber x5振动分析仪的交叉通道分析发现不是单纯动平衡问题,检查风机基础螺栓及转子发现轴套松动。







瑞典vmi viber x5振动分析仪应用于粉碎机振动检测

粉碎机是将大尺寸的固体原料粉碎至要求尺寸的机械。粉碎机由粗碎、细碎、风力输送等装置组成,以高速撞击的形式达到粉碎机之目的。由于负载较大经常出现转动大的问题,瑞典vmi viber x5振动分析仪线数---25600线,能够区分各种故障频率。并且瑞典vmi viber x5振动分析仪的自动诊断功能能够快速识别出轴承故障、基础松动、平衡---、对中---等转动设备常见故障。







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