漳州实验室洁净工程定做-「在线咨询」
主要取决于产品生产工艺流程的要求,它直接影响着清洁准备间的位置选择。物料一般应经过气闸间进人洁净室(区),气闸间往往和洁净室内(区)相毗邻或者就在洁净区内,所以其室内空气压力应与洁净生产区之间保持一个合理的压差。使净化空气从洁净生产区流向准备间。
同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。2、洁净室中的气压规定对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力静压高于外部的压力静压。
压力差的维持一般应符合以下原则:1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。压力差的维持依靠新风量
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