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实验室气体的危险性：

1、有部分气体具有易i燃、易i爆、有毒、强腐蚀等特性，其一旦泄漏，就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害；

2、多种气体在同一个环境下使用，如果有两种会发生燃烧或爆i炸等---化学反应的气体同时泄漏，就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害；

4、多数气瓶出口压力可达15mpa，即150公斤/cm2，如果发生气瓶口减压装置失灵，就有可能将一些部件激i射出去，其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。

　　实验室气路改造安全要求

　　1、乙i炔铜盐、乙i炔气和气瓶不得与铜或含铜量超过70%的合金接触。所有附件不得使用这些金属。

　　2、气瓶和仪器之间应该有一个安全瓶，以防止吸回瓶中的现象发生，并造成危险。

　　3、如果气瓶-或发生回火，立即关闭气瓶阀门，将气瓶移出室外空矿坑，将气瓶浸入冷水中，或倒入大量冷水降温，慢慢打开阀门并继续冷却，直到气体释放。

　　4、乙i炔、氢气和液化石油i气是危险的。

　　5、氧气虽然不易i燃，但助燃性强，不得接触污物、有机物。

　　6、使用腐蚀性气体。气瓶和附件应经常检查。不用时不要把它们放在实验室里。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管ss304ba、ss316ba、不锈钢电抛光管ss316l-ep等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用ss316l-ep管。10、供气系统安装完成后，根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。

注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的ss316l-ep管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。

对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间---真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

气体产品种类繁多，大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类。一般工业气体产销量大，但对纯度要求不高。特种气体产销量虽小，但根据不同的用途，对不同特种气体的纯度或组成、有害杂质允许的含量、产品的包装贮运等都有极其严格的要求，属于高技术，高附加值产品。7气瓶在储存、使用时必须直立放置，工作地点不固定且移动频繁时，应固定在---手推车上，防止倾倒，严禁卧放使用。

高纯气体(high purity gases)，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，ar，---而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；气体管道安装实验室供气系统作为一种气体补给方式，现已经被人们越来越广泛的使用。对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。