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罗茨真空机组除具有---的机械性能和加工性能外，还要满足其他性能的要求，即容易除气、低的饱和蒸气压、一定的化学稳定性、一定的纯度和清洁度、合适的辐射能力等。所以罗茨真空机组具有特殊性，对清洁处理要求是---严格的，应清除或减少零件的污染。
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罗茨真空机组中，真空室内的运动部件不得用机油作润滑剂，要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作润滑剂，法兰、观察窗的密封部件要涂以高真空油脂。3、检查中间泵及主泵泵体内的润滑油油面高度，必须达油窗的3/4以上，同时检查润滑油的颜色，如出现乳白色或黑色杂质较多则通知机修更换润滑油。罗茨真空机组一般应在温度为15～30℃，相对湿度不高于70%的清洁空气流通的环境中工作，冷却水进水温度不高于25 ℃。
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罗茨真空机组是高速运行的精密机械，如果系统是新安装的管道，刚开始使用时必须在其进气口安装目数较大的过滤网，以免管道内的异物进入泵腔造成泵的卡死和电机损坏。
罗茨真空泵两端油箱需要定期补充润滑油，我们目前使用的是100号机械真空泵油。由于罗茨真空机组的工作真空度不是---，通常罗茨真空泵可用46号的机械油代替真空泵油。
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