漳州半导体真空泵维修在线咨询「厦门太星机电」

厦门太星机电有限公司拥有十多年真空行业经验和销售及维修-团队组成，公司提供国外及国内厂家生产的真空泵，检漏仪，分子泵，扩散泵，水环真空泵，螺杆真空泵，罗茨泵，真空测量，真空泵油及其备品备件。

高真空油扩散泵是一种蒸气射流泵，其工作原理是把工作介质(扩散泵油)的动能在抽气方向上传给被抽气体来作为基础的。扩散泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口排除的过程。其工作-真空度在10-2~10-5 pa范围内。应用在设备上的扩散泵工作范围在10-2~10-4 pa范围内。

扩散泵系统的压强不稳定的原因，有内部和外部之分。泵外的原因有：来自橡胶垫圈的气泡；从障板上滴落下的泵油；高的前级耐压；阱除霜；阱内冷冻层的。泵内的原因有：泵油爆沸或沸腾不稳定；在导流管外部油的沸腾；轻气体的低压缩比；喷咀内的液滴；顶喷咀变冷蒸汽冷凝；锅炉附近泄漏，泵体要检漏。

1目前国内生扩散泵的厂家较多，型号、尺寸不统一，大泵越作越大，小泵则很少生产。况且对泵的性能也没有考核指标。行业应对提和进行定期检查、组织生产厂家多做改进工作，使用户配套方便。2泵在结构方面：要缩小尺寸、降低重量，-零件的加工精度，可增加级数，提高在4×10-1pa时的抽气量。给出对几种常用的被抽气体的抽气量。3增加附件。如设置挡油帽，过热保护装置对冷却水水温、水压和泵油温度的在线测和自动保护。可自动切断和复位。出口压力的监控。4规定油量的大值和小值和耗油量如0.5~0.7 g/h等。要观察油位，以方便用户及时注油。从观察窗看泵油变质情况以便及时更换。5给出合适的前级泵的容量。6为了节能加热功率要可调，要快速起动和快速冷却停泵，提高设备的运转率。7给出各种被抽气体的性能曲线，好给出对一些气体的压缩比方便用户选用。8用微机控制运行和故障诊断。9密封处要选高的放气率和透气率小的橡胶圈。10给出各种泵的返油率限定值，进一步降低返油率，扩大油扩散泵的用途。油扩散泵的工作压力范围宽1~10-5pa以下，它比其它高真空泵的-性高，成本低，只有少数部件需要维修，泵内无运动部件，工作中可更换加热器。硅油或聚-醚的蒸汽压为10-9~10-10torr，使用合适的挡板或阱在室温状态下可获得10-10torr或-的压力。

扩散泵的缺点是返油问题，加上挡油帽和冷阱及正确操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究，现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施，使扩散泵的返油率降得很低。所有的油扩散泵都存在一定程度的返流现象。返流的气体是少量残余的碳氢化合物。返流有两个不同性质的来源：泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动构成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发。利用好的锅炉和喷咀设计，可使主要的返流降至低。在顶喷咀上方设置水冷挡油帽，它已成为顶喷咀的拦截返油的水冷装置，由于不断对冷帽结构的改进，使主要返流大-低。

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