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真空设备检漏

听音法

气体从小孔中喷出时，会发出声音。声音的大小和频率取决于泄漏率的大小、两侧的压力、压差和气体的种类等。根据气体漏出时发出的声音判断有无泄漏。

该方法的灵敏度很大程度上受环境的影响。若工厂噪音较大，则小的声音就不易听清。使用听诊qi，某种程度上可以消除周围噪音的影响，听清泄漏声音，但有时与泄漏无关的声音例如电机的声音也会混杂进来，从而影响检漏灵敏度。为了辨别较小的声音，可用话筒和放大器将声音放大。无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用，这种检漏方法已经在各个行业领域内得到了广泛使用。但此时其它声音也同时放大，多数情况下较难收到好的效果。在检测压力为0.3mpa，周围非常安静的条件下，可以听出5′10-2cm3/s的泄漏率的声音。

这种方法既简单、经济。使用听诊qi，在某种程度上可以判断出泄漏点。如单凭耳朵听，往往因声波的反射或吸收，很难确定泄漏点，即发声地点。由于检测环境条件不同，所得到的结果可能偏差很大。因此，这种方法的稳定性和-性很差。应与其它检测法并用。

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一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况-，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。只要水压不变，泄漏率大小就不会发生很大变化，因而可以获得较为一致的结果。确定漏气率。找出泄漏部位，以便修补堵漏。

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-气

-气穿透能力强，且易，对漏点有-的检出能力，可让细微小洞无处可逃。-气检漏就是采用-气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为-原子的尺寸很小。用-气穿过小洞而进入到管壳内部，-气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞，灵敏度可与性检漏方法-，但要比性检漏方法简便。-气检漏方法：首先把封装好的元器件放入充满-气的容器中，并加压，让-气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留-气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的-气。3mpa，周围非常安静的条件下，可以听出5′10-2cm3/s的泄漏率的声音。