用于电子照相成像装置和喷墨成像装置的导电辊是通过将导电性泡沫弹性体包覆于导电性金属芯材的外周而制成的。可见,电子垃圾的问题并不是不能解决,只要能让电子垃圾“从科技中来,到科技中去”,就可以变废为宝,产生---的经济和社会效益。所述导电性泡沫弹性体是通过将导电性材料分散在普通弹性体中以使该弹性体具有导电性,并使用空气或者氮气对弹性体进行机械发泡、或者使用发泡剂进行化学发泡而形成的。
导电辊,所述导电辊的电阻率几乎不会随着环境变化而改变。根据本发明的一方面,提供了一种导电辊,该导电辊包括导电性芯材,以及包覆于所述导电性芯材的外周的泡沫弹性层。
由表面层和-组成的半导电辊;该表面层具有较高的电阻值,由橡胶组合物制成;-具有较低的电阻值,由导电橡胶组合物组成。该半导电辊的目的在于通过---地平衡表面层和-的电阻值而获得---的静电充电特性。有---使这两种层的厚度高度准确。另外一般的电阻测量仪器受温度和湿度的影响较大,无法测量,导致不能得出的数值,从而不能---广品的品质。为使两种层的厚度高度准确,需要较麻烦的管理,并且生产橡胶辊的成本较高。
在所有应用产业中,半导体产业对靶材溅射薄膜的品质要求是苛刻的。如今12英寸300衄口的硅晶片已制造出来.而互连线的宽度却在减小。硅片制造商对靶材的要求是大尺寸、高纯度、低偏析和细晶粒,这就要求所制造的靶材具有---的微观结构。因此,对于使用微细---的高画质复印机和打印机用辊筒,---是---供给辊,要求更细的微孔。靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉积率的关键因素。另外,薄膜的纯度与靶材的纯度关系---,过99.995%4n5纯度的铜靶,或许能够满足半导体厂商0.35pm工艺的需求,但是却无法满足如今0.25um的工艺要求。
各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路(vlsi)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。20世纪90年代以来,溅射靶材及溅射技术的同步发展,---地满足了各种新型电子元器件发展的需求。钨具有高熔点、高强度和低的热膨胀系数等性能,w/ti合金具有低的电阻系数、---的热稳定性能。例如,在半导体集成电路制造过程中,以电阻率较低的铜导体薄膜代替铝膜布线。
在被溅射的靶极阴极与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体通常为ar气,磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。
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