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采用真空压力法检漏时,需要将被检产品整体放入真空密封室内,真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连,被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后,再与-气源相连,当被检产品表面有漏孔时,-气就会通过漏孔进入真空密封室,再进入-质谱检漏仪,从而实现被检产品总漏率的测量。任何仪器在制作过程中难免会遇到密封不严的情况,某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系,但是在半导体器件、集成电路等重要电气设备及仪器中,-的密封才能决定仪器的正常使用,所以检漏十分重要。
真空压力法的优点是检测灵敏度高,能实现任何工作压力的漏率检测,反映被检件的真实泄漏状态。
真空压力法的缺点是检漏系统复杂,需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求-充气管道接口无泄漏,或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。
真空压力法的检测标准有gb /t 15823-2009《-泄漏检验》,主要应用于结构简单、压力不是-高的密封产品,如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。
这是常用的一种方法,一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷-,如图4 所示,如果被检器件某处有漏孔,当-喷到漏孔上时,-气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,-质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:-气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷-,喷-时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时-气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷-应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。此外,在充注或排放中要-无气体溢出,并定期检查连接件是否有漏。
近年来,随着科学技术的飞速发展,-质谱法检漏及其应用技术不断发展和完善。79j/(m·h·k),在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k),在标准状态下的动力粘度系数为1。 各地的制造商推出了各种类型的-质谱检漏仪,广泛应用于航空航天、电力电子、汽车、制冷和等行业。 综观新型-质谱检漏仪的性能特点,-质谱检漏仪正朝着高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等-方向发展,这些特点满足了检漏应用的需要,推动了-质谱法检漏技术的发展。
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