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热式流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差方法,而测得气体流量。不同于容积式流量计,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量, 所以---适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
流量控制器流量计利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成,即热分布式流量计thermal profile flowmeter。 采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量,可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值信号放大去驱动控制调节阀门。通过实时的流量检测闭环,去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
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