瑞士英福康真空计保养-「潽拓光电」

广州潽拓光电科技有限公司--瑞士英福康真空计保养维修；

电容-数字信号转换器原理图电路芯片利用ibm0.13umcmos技术制造，cmos电路板的尺寸为1950umx1850um，有效电路尺寸为263umx354um，采用2.5v电源供电，功率消耗约为0.69mw。在-20～225℃温度范围内，电路精度可达到2.4%，分辨率可达到1.44ff。

电容-数字信号转换器电路布局和芯片显微照片2.双侧电极微小电容测量敏感电容为双侧电极结构的inficon电容薄膜真空规管结构 ，敏感薄膜上的电极与上下硅基底上的电极构成了两个随真空度变化而变化的敏感电容。差动结构的敏感电容配合差动电路能准确感知薄膜的微小变化、减小寄生电容和耦合电容的影响、提高测量的共模抑制比，从而提高整个系统的分辨率，因此通常采用功耗低、易小型化集成的开关电容电路来构成差动测量电路。而随着inficon传感器的广泛应用，具有可调性、能满足不同设备需求的电路也比较受关注。

图5双侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图官设计了一种具有可调灵敏度的针对差动电容结构的inficon电容式传感器的信号测量电路。 电路包括传感器电容cx1、cx2，寄生电容cp，输入阻抗缓冲器r，前置可编程放大器，一个单位增益的反相放大器，相敏解调器，可调方波时钟发生器，低通滤波器lpf，可编程输出放大器。可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。

广州潽拓光电科技有限公司--瑞士英福康真空计保养出售；

inficon技术：1从微机电系统inficon发展到纳机电系统nems的启示；2inficon加速度计、陀螺仪及组合式惯性传感器技术及应用；3光学传感器和气体传感器技术及应用；4inficon谐振器和振荡器技术及应用；5inficon制造工艺；6inficon封装技术；7inficon产线参观学习：苏州inficon中试平台和捷研芯量产封装产线。 

上世纪50年代，d.j.pacey研究用石英晶振测量气体压强。他采用双三级管电子管做电路，其一侧与晶振构成pierce-miller振荡器，晶振置于被测气体中作压强传感器。当气体压强变化时，阳极电流也随之变化。据称该仪器可测105pa到13.3pa的压强。

到了20世纪80年代，m.ono等-计了测量范围从1.33pa到大于105pa的石英真空计。所用晶振为音叉结构，长2.66mm，宽0.3mm，厚0.13mm，谐振频率为32768hz。仪器采用位相锁定环路，phaselookedloop使振荡电路的频率与晶振的谐振频率保持一致。为了进一步减小下限，经过对石英晶振结构的研究，选用10mm长的晶振做成0.133pa~105pa测量范围的真空计。

国内在90年代也有人研制了石英真空计，所用电路是以晶振本身为频率控制元件的自振荡，自---电路。测量范围为0.1pa~2×105pa。 很近我们研制的dl-10a型石英真空计采用fc135晶振，测量范围为5×10-1~105pa。目前已有石英真空计产品，

例如：cc-10真空计测量范围是1.33×10-2pa到---压，m-320xg晶振真空计测量范围是1x10-1pa到---压，dl-10a型石英真空计测量范围是5x10-1pa到---压。其优点为：传感器体积小，耗电功率小约1w，精度较高约10%，量程较宽10-1~105pa等。

part 01工作原理

石英晶振在谐振时，其谐振频率或谐振阻抗均与周围气体压强有关，二者均可用来测量压强。用谐振频率与压强有关的特性做真空计精度高，但测量范围较窄，它可以用作标准真空计或应用于要---度高的真空测量领域。用谐振阻抗与压强有关的真空计测量范围较宽，可达0.1-105pa，适合做工作用真空计。晶振在谐振时，同时自身也存在机械振动，振动时将受气体阻力，阻力的大小与气体压强有关，因而晶振的电学阻抗也与气体压强有关。

什么叫真空计校准装置？

大家都知道，不一样建设和工业化生产的设备应用条件是不一样的，例如载人航天器在空间、四轴在高处、战略---在海底……这种商品的研发实验都离不了真空自然环境。真空环境标准模拟是不是真正、及时？就必须真空计充分发挥。殊不知，这种真空计数据测试否准确，就必须用人们的“直尺”——真空计校准装置来量一量，才可以---真空计准确测量效果的准确---。

携带式真空计校准装置项目负责人详细介绍，真空计一般全是使用在真空环境监控系统实验装置上，这种装置可全是“大家”，依照传统的的计量检定校准方式，必须将上边应用的各种真空计卸下来送至试验室开展按时校准，不但提升了拆卸的劳动量，运送环节中还存有受损的风险性。真空计经常拆卸变成危害实验生产制造进展的主要要素之一。

为了---真空计在各种安全商品的科学研究实验生产制造当场中的灵便计量检定，很多年来，真空事业部研发人员在早期技术性累积基本上，进行集智科技攻关，取得成功研发了携带式真空计校准装置。该装置解决了一直以来真空校准装置沉重没法带上到当场只有在试验室校准的瓶颈问题，完成了真空计线上校准，---了实验生产制造每日任务不断合理开展。