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采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹---气，可以实现漏孔的; 真空---罩法采用有一定密闭功能的---罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的---气，可以实现被检产品总漏率的测量。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个---压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测标准主要有qj3123-2000《---质谱真空检漏方法》、gb /t 15823-2009《---泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
检漏气体测试的漏孔通常非常微小或者是狭长的毛细管，如果在检漏气体测试前将漏孔置于水槽中，这些漏孔或者毛细管则将被水堵塞或充满，而堵在漏孔中的水因为表面张力的原因，会非常不易从小孔中驱逐，从而---影响检漏结果。解决这一问题的办法，只能通过漫长的干燥过程来排除这些水分。正压法的优点是不需要辅助的真空系统，可以，实现任何工作压力下的检测。
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大家都知道气分子内部结构稳定，化学性质并不活泼并且密度较小，由于这些特性---气不会，也不容易和其他物质发生反应。因为这些性质，所以---气经常被用来检漏。
其实任何可以感测气体分压之质谱仪，均可以作为真空系统漏气之侦测,通常为分子量较轻的气体，---气渗透漏孔， 的质谱测漏仪，多将质普分析器固定在特定，通常为---气的，以---气为漏气体在欲侦测处到处喷---气，观察质普是否改变，来办别是否有漏气，这是---气检漏的原理。例如，径向轴封件，这种径向轴封件仅在一个方向有密封作用，相反方向将出现漏泄。
---质谱检漏仪是以氨气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便检测迅速等特点是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器
---质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氨气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。
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