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高纯气体分类:
高纯气体根据气体性质不同一般分为:惰性气体、气体、有毒气体和腐蚀性气体;根据供应包装的不同分为:特种气体和大宗特种气体。
高纯气体系统及输送流程:
高纯气体输送系统是指:将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制,通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。
其基本流程是:气源***控制柜***管道传输***vmb***用气点
气体储运要求
---气体在存储、运输、使用过程中不会被二次污染,对气瓶内部、内壁表面的处理涉及多项工艺,均依赖于长期的行业探索和研发;此外,对于某些具有高毒性或危险性的气体,需要使用负压气瓶储运,以减少危险气体泄露风险。
2.系统检测
特气管道施工结束后都需要进行压力检测,---检漏,颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪,不用压力表。这样---提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪;颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪,精度达到0.1微米;而对要求更高的采用核凝结技术(cnc)它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。
高纯供气系统功能:
可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;氮气吹扫起源等等。
高纯供气系统设计
1.材料的选择
特气管路系统普遍采用316l不锈钢电解抛光(ep)管道,阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、vcr接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如cl2等,采用经过特殊处理的耐腐蚀强的ep管 。
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