曲靖投射电镜分析机构- 9D实验室电镜分析

二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用比较广泛的

二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用比较广泛的, 分辨本领也---的一种图象。我们以二次电子成象为例来说明扫描电镜成象的原理。

由电子发射的电子束高可达30kev, 经会聚透镜、物镜缩小和---, 在样品表面形成一个具有一定能量、强度、斑点直径的电子束。在扫描线圈的磁场作用下, 入射电子束在样品表面上按照一定的空间和时间顺序做光栅式逐点扫描。由于入射电子与样品之间的相互作用, 将从样品中激发出二次电子。由于二次电子收集极的作用, 可将各个方向发射的二级电子汇集起来, 再将加速极加速射到闪烁体上, 转变成光信号, 经过光导管到达光电倍增管, 使光信号再转变成电信号。这个电信号又经视频放大器放大并将其输送至显像管的栅极, 调制显像管的亮度。因而, 再荧光屏上呈现一幅亮暗程度不同的、反映样品表面形貌的二次电子象。

对于粉末样品的制备应注意以下几点

对于导电的粉末样品，应先将导电胶带黏结在样品座上，再均匀地把粉末样撒在上面，用洗耳球吹去未黏住的粉末，即可用电镜观察。对不导电或导电性能差的，要再镀上一层导电膜，方可用电镜观察。为了加快测试速度，一个样品座上可以同时制备多个样品，但在用洗耳球吹未黏住的粉末时，应注意不要样品之间相互污染。

对于粉末样品的制备应注意以下几点:

a、尽可能不要挤压样品，以保持其自然形貌状态。

b、特细且量少的样品，可以放于---或者合适的溶剂中用超声波分散一下，再用毛细管滴加到样品台上的导电胶带上(也可用---点一滴到样品台上)，晾干或强光下烘干即开。

c、粉末样品的厚度要均匀，表面要平整，且量不要太多，1g左右即可，否则容易导致粉末在观察时剥离表面，或者容易造成喷金的样品的底层部分导电性能不佳，致使观察效果的对比度差。

扫描电子显微镜是利用材料表面微区的特征

电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及x射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、x射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然x射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将x射线分析系统划分到成象系统中。

扫描电子显微镜是利用材料表面微区的特征如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等的差异，在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异，从而获得具有一定衬度的图像。