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如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方，如供暖，通风和空调hvac，过程冷却，压缩空气和一些其他设施。 hvac系统消耗的电量超过整个晶圆制造设施的一半。大量浪费的电力和hvac容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径，尽可能地压缩初始投资，而不管后期的运营成本。标准洁净厂房设计规范洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔。的设计和的设备需要大量的前期投资。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。
工艺布置应符合下列要求：
一、工艺布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置---的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。
二、在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置，靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室。
三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。
四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。
五、应设置单独的物料人口，物料传递路线应为短的，物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。
标准洁净厂房设计规范
洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔。
一、按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。
二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采取局部措施加以控制者。
三、生产联系少，并经常不同时使用的两个生产车间之间。
苏州天德佑净化科技有限公司
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