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纳米真空镀膜与您分享pvd真空蒸发镀膜
01、定义
pvd真空蒸发镀膜是在真空条件下,用蒸发器加热蒸发物质使之汽化,蒸发粒子流直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。
02、真空蒸发踱膜主要经历
1、采用各种能源方式转换成热能, 加热膜材使之蒸发或升华, 成为具有一定能星 ( 0霉 1/->;j0 . 3 e v) 的气态粒子原子、分子和原子团;
2 、离开膜材表面,具 有相当运动速度的气态粒子以基本上无碰撞的直线飞行输运到基体表面;
3、到达基体表面的气态粒子凝聚形核后生长成固相薄膜;
4、组 成 薄 膜 的 原子重组排列或产生化学键合;
03、原理及特点
原理:
热蒸发是在真空状况下,将所要蒸锻的材料利用电阻加热达到熔化温度,使原子蒸发,到达并附着在基板表面上的一种锻膜技术。
特点:
设备简单、操作容易
海膜纯度高,---, 厚度可控
速率快、、可用掩膜 获得清晰图形
薄膜生长机理比较单纯
缺点:
不易获得结晶结构的薄膜
粘膜与基片附着力小
真空镀膜设备使用步骤
1电控柜的操作
1)开水泵、气源
2)开总电源
3)开维持泵、真空计电源,真空计档位置v1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。
4)开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到v2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。
5)观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子电源。
去毛刺
去毛刺的方法一般有手动清理、半自动轮刷清理以及玻璃珠喷砂处理三种。手动清理很适合硬质合金刀具毛刺的处理,这是由于其刃口处一般毛刺量较少,即使有也很硬,并且脆性大,用半自动轮刷清洗和玻璃珠喷砂处理时极易损伤刃口。半自动轮刷清理一般用于滚齿刀毛刺处理,是将刀具固定在低速转盘上,用不锈钢刷子压在刀齿上进行清理,但这种方法效率较低。玻璃珠喷砂去毛刺是目前涂层行业前处理应用广泛的方法,采用的设备一般为干式喷砂机,砂料为玻璃珠,经去毛刺后刃部刺状物消失、齿间洁净,有利于涂层材料颗粒的沉积。
蒸镀材料种类
金属及非金属颗粒 :铝蒸发料、镍蒸发料、铜蒸发料、银蒸发料、钛蒸发料、硅蒸发料、钒蒸发料、镁蒸发料、锡蒸发料、铬蒸发料、铟蒸发料、银铜蒸发料、金蒸发料、微晶银粉等。
氧化物 :钛钽合金、---钛合金、---合金、三氧化二铝、二氧化---、五氧化三钛、石英环、石英片、氧化铒、钛酸---等
---物 :---镁、---镝、等
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