天津三维重构- 天津9D实验室

台式扫描电镜观察试样表面形貌

从试样表面形貌获得多方面资料，不仅可以利用入射电子与样品相互作用产生的信息进行成像，还可以通过信号处理方法获得各种图像的特殊显示方法，从样品的表面形貌中获得各种信息由于扫描电子图像不是同时记录的，它是由近百万条记录逐个组成的因此，除了观察其表面形貌外，sem还可以分析其成分和元素通过电子通道花样进行结晶学分析，选择的面积大小可以在10μm到3μm之间。

台式扫描电镜(sem)易于使用

台式扫描电镜也被叫桌面型扫描电镜(sem)，是比传统的落地式扫描电镜体积小，操作更方便的检测设备。台式扫描电镜(sem)易于使用，就算实验室普通操作人员也能容易上手使用，然后想要看哪里就点哪里，快速成像，图片也是高分辨率，换样品时间也能缩短，节省时间，压力也不大了，项目也有进展。台式扫描电镜(sem)与传统的落地式扫描电镜相比，台式扫描电镜(sem)更实惠；

二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用比较广泛的

二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用比较广泛的, 分辨本领也---的一种图象。我们以二次电子成象为例来说明扫描电镜成象的原理。

由电子发射的电子束高可达30kev, 经会聚透镜、物镜缩小和-, 在样品表面形成一个具有一定能量、强度、斑点直径的电子束。在扫描线圈的磁场作用下, 入射电子束在样品表面上按照一定的空间和时间顺序做光栅式逐点扫描。由于入射电子与样品之间的相互作用, 将从样品中激发出二次电子。由于二次电子收集极的作用, 可将各个方向发射的二级电子汇集起来, 再将加速极加速射到闪烁体上, 转变成光信号, 经过光导管到达光电倍增管, 使光信号再转变成电信号。这个电信号又经视频放大器放大并将其输送至显像管的栅极, 调制显像管的亮度。因而, 再荧光屏上呈现一幅亮暗程度不同的、反映样品表面形貌的二次电子象。

扫描电镜涉及了电子光学技术、真空技术,精细机械结构以及计算机

扫描电镜涉及了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及计算机控制技术，是一个复杂的系统组合。其利用电子束在样品表现进行扫描，同时利用探测器接收电子束在样品上激发的各种信号，并利用信号检测放大系统输出调制信号转换且现在在显示系统生成像。这些信号主要有二次电子，用于形貌观察；背散射电子、特征x射线、俄歇电子，用于成分分析。