爱德华真空泵组维修-「明胜机电」

edward爱德华eh1200罗茨泵维修保养 漏气，有-死

eh1200是德国edward爱德华eh系列罗茨泵，这款泵是比较大的，罗茨泵不能单独使用，一般是可以搭配螺杆泵或者旋片泵使用。其他进口螺杆真空泵维修型号：eh250，eh500，eh1200, eh2600，eh4200

提供进口罗茨泵维修保养，维修品牌包括：莱宝、爱德华、aerzen, kaesser, dresser, hibon, robuschi, rkr等进口品牌；罗茨泵维修提供莱宝wsu系列、wau系列和爱德华eh系列等；

爱德华罗茨泵维修因为结构不一样，所以它和油封封e2m80的维修方法有点不一样，出现的故障也不一样。像罗茨泵一般会出现的问题是

1.-、

2.卡死、

3.抽气量不足、

4.性能不稳定、

5.噪音大等故障；

温馨提示：如果爱德华eh1200罗茨泵漏气，有-死，记得----罗茨真空泵维修厂家，不可擅自处理，以免引起其他---的故障反应。

爱德华真空泵维修经过长期工作后经常会出现的问题就是漏油，关于这个问题怎么维修呢？我们要先了解出现故障的原因：1.真空系统或进气管路读书或泄露

2.真空泵油被污染或变质

3.排气过滤器堵塞

4.进气过滤器或进气滤网堵塞

5.吸气阀被污物卡死

6.进气或排气管道过长或管径太小

7.油管泄漏或损坏

8.密封圈或轴封泄漏

9.排气阀损坏或卡死

10.叶片卡死或损坏

11.转子和泵体的间隙不对

12.真空泵内部零件损坏爱德华e2m80真空泵

化学气相沉淀化学气相沉淀 (cvd) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动，配备防伤手风扇和联轴器壳体，可为操作人员提供保护。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用---之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。

干泵选择

cvd 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。原厂爱德华真空泵配件，请用爱德华原厂配件，edward真空泵过滤器，英国edward爱德华真空泵旋片，进口爱德华真空泵---油，爱德华真空泵密封件/维修包等……，原厂爱德华真空泵配件销售，型号齐全，价格实惠。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能---粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以---泵在应力下保持 旋转。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。2：凡使用我司的真空泵耗材，正常使用过程中，在保用期内出现任何问题我司将对其免费更换。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要---可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 cvd 制程，需要在温度设上 达到平衡，以---避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。

真空泵抽气量不足的原因及解决方法是什么？

看看进气口和排气口是否接错了，三相泵的话看看是不是电机反转了。如果真空泵电机还是好的。而且如果是不同工作方式的泵，不能正常工作的原因还是有所区别的，不能一概而论。

真空泵抽气量不足的故障原因：

泵的转速低于规定转速。

叶轮与端盖的间隙过大。

填料室密封漏气。

吸入管道漏气。

供水不组。

水环温度过高。