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流量计直接测量通过流量计的介质的流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。由于变送器是以单片机为---的智能仪表,因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。流量计组态灵活,功能---,性能价格比高,是新一代流量仪表。三,要在mfc气路前面加减压阀,稳定入口气压,在mfc下游加背压阀,稳定反应室和mfc出口的气压,适当调节减压阀和背压阀,要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。
测量管道内流量的流量测量仪表。在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下,若仅测量体积流量,则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。在容积式和差压式流量计中,被测流体的密度可能变化30%,这会使流量产生30~40%的误差。随着自动化水平的提高,许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。化学反应过程是受原料的(而不是体积)控制的。蒸气、空气流的加热、冷却效应也是与流量成比例的。产品的严格控制、飞机的燃料量控制,也都需要准确的流量测量。流量计组态灵活,功能---,性能价格比高,是新一代流量仪表。因此流量计是一种重要的流量测量仪表。
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提高气体流量控制器实用准确度的措施为:
1.针对气体流量控制器的实际工艺参数,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。
2.把好气体流量控制器的安装环节,减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。
3.考虑工艺压力、温度等对气体流量控制器测量准确度的影响。
4.把好气体流量控制器的投用关。
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流量控制器, 即mass flow controller缩写为mfc, 不但具有流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,mfc自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。流量控制器基本原理通过测量气体流经流量器内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。
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