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真空镀膜法与离子溅射法相比

真空镀膜采用真空镀膜仪进行蒸镀，其原理是在高真空状态下，通过加热靶材，使之蒸发成极细小的颗粒原子团而挥发出来，然后通过自身的重力降落到样品的表面形成一层导电膜层，使样品表面导电。现在多数镀膜仪通常选用金、铂和金钯合金等，蒸镀金属膜的厚度约为5~10nm。同样的靶材用真空镀膜法与离子溅射法相比，真空镀膜法所形成的金属膜层的颗粒相对较粗，而且膜的均匀性较差，操作较麻烦，既费时又耗能、耗材，所以成本比较高。目前真空镀膜法已经很少使用，使用较多的是离子溅射法。

扫描电镜对样品的要求有哪些呢?

扫描电镜对样品的要求有哪些呢？

首先样品要保持干燥，不会被电子束分解，在电子束扫描下热稳定性要好，能提供导电和导热的通道。样品的大小或者厚度需要适用于样品台的安装，观察面要清洁，没有污染物。若需要进行微区成分分析，样品的表面还应该要平整。带有磁性的样品要预先去磁，以免观察时电子束受到磁场影响。如果不去磁，磁性颗粒很容易吸附到扫描电镜的极靴上，会对电镜的分辨率造成影响，所以需要先消磁再上机测试。

扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器

扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞。一些电子被样品表面反射，而其余电子则穿透样品逐渐失去动能，后停止运动而被样品吸收。在这个过程中，百分之99以上的入射电子能量转化为样品热能，剩余约百分之1的入射电子能量激发样品的各种信号。这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、x射线等。扫描电镜设备利用这些信号获取信息来分析样品。