洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在-集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。净化工程所---设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,---是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产的湿度范围为35—45%。
噪声控制
洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准,目的在于保障操作正常进行,满足---的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是:对综合通讯的干扰。这主要分为:清楚或满意,稍困难,困难,不可能。
以上指标都用a声级来评价,在50年代曾提出用一条频谱曲线作为评价标准即各频带中心频率的声压级不得超过该曲线。后来了解到刷a等级来计量噪声与噪声的语音干扰和烦恼程度更为台适,可以代替倍频带声压级作为评价标准的指标。
送风口由静压箱、散流板、过滤器与法兰四件组成;与风管的接口处有侧接与顶接两种。箱体表面为冷扎钢板多层酸洗静电喷涂而成,出风口均有---的气流,---净化的效果;是用以改造和新建1000—300000级各级洁净室的终端空气过滤设备,满足净化要求的关键设备。 送风口可选功能: 1、送风口可根据客户不同要求选择侧面送风和顶部送风。适用范围:生物工程车间、电子、微电子车间、无尘净化室、电子元件生产区、半导体车间smt、邦定车间等。法兰也可选择方形或圆形口,方便接风管的需要。
哪里需要净化:
医院:手术室、检验科、制剂室、pcr、icu、nicu、负压病房、科等;
食品厂:塑料袋厂、食用类食品加工厂、
电子车间:芯片等
药厂:生产、液剂等
:口罩厂、---物品荧光试纸、手术套等、生产厂
实验室:私人或公建的生物研究实验室、动物实验室等
大家都知道pm2.5,而在净化工程中-的甚至是pm 0.1;再如暖通的装备:空调,一般的空调只有一个过滤网,而净化空调要有3~4层,甚至更多过滤网,各级阻力增加,一般的风机的压头---无法把风送过去,恒温恒湿、无菌等要求更是司空见惯,就品牌来看,---知道的格力、美的、海尔、海信....4、坚硬密实的表面可以较大限度的抵抗油脂,特种液压油和多种工业用化学试剂的侵蚀渗透。..没有一家能做净化空调的;再比如灯具,净化工程的所有灯具都不积尘、不产尘、易清洁的净化灯,而不是我们常见的灯具,还有插座、电话、---头、桌椅板凳、服装鞋帽、抹布拖把......,无论那种材料都是自成一体。
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