NR9 3000PY光刻胶报价服务为先「赛米莱德」
北京赛米莱德贸易有限公司供应美国futurrex新型lift-off光刻胶nr9-3000py,nr9i-3000py有下面的优势: 1. 比较高的光刻速度,可以定制光刻速度来-产量 2. 比较高的分辨率和快的显影时间 3. 根据-能量可以比较容易的调整侧壁角度 4. 耐温可以达到100摄氏度 5. 用rr5去胶液可以很容易的去胶 nr9-3000py的制作和工艺是根据职业和环境的安全而设计。为了-线宽的重复性和接下去的显影时间,同一个样品的胶厚均匀性和不同样品间的胶厚一致性不应超过±5nm(对于1。
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四、前烘soft bake
完成光刻胶的涂抹之后,需要进行软烘干操作,这一步骤也被称为前烘。前烘能够蒸发光刻胶中的溶剂溶剂、能使涂覆的光刻胶更薄。
在液态的光刻胶中,溶剂成分占65%-85%。虽然在甩胶之后,液态的光刻胶已经成为固态的薄膜,但仍有10%-30%的溶剂,容易沾污灰尘。通过用强酸刻蚀玻璃板,niepce在1827年制作了一个damboise-的雕板相的产品。通过在较高温度下进行烘培,可以使溶剂从光刻胶中挥发出来前烘后溶剂含量降至5%左右,从而降低了灰尘的沾污。同时,这一步骤还可以减轻因高速旋转形成的薄膜应力,从而提高光刻胶 衬底上的附着性。
在前烘过程中,由于溶剂挥发,光刻胶厚度也会减薄,一般减薄的幅度为10%-20%左右。
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