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洁净车间洁净度是洁净室的重要基本的技术指标，其单位是：单位体积的空气中粒径不小于某一尺度的微粒个数。微电子行业对于洁净度的要求，其次是光电子行业。

微生物浓度是洁净室的另一项重要技术指标， 其单位是：单位体积的空气中微生物的个数。生物工程行业对于微生物浓度的要求，其次是、制药、食品、饮料、化妆品等行业。微生物的种类繁多，有-、-、-、菜类、孢子、花粉、螨虫等。空气中的微生物是空气中微粒的一部分， 确切地说是危害较大的一部分。 通常测定的是空气中-的浓度。

无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之-的洁净度日及温湿度，使产品能在一个-之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

气压规定　　对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力静压高于外部的压力静压。压力差的维持一般应符合以下原则：　　

1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。　　

2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。　　

压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄或渗透风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。