龙岩螺杆真空泵来电洽谈「龙筹机电」

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在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。

齿轮是螺杆真空泵上重要的部件之一，它能够使螺杆转子和转子之间保持固定的间隙。本系列螺杆真空泵采用-的斜齿轮结构，啮合均匀，稳定性好，运行噪声低。固定端轴承为双列角接触球轴承，延展端轴承为圆柱滚子轴承。这些轴承均能够承受高速高负载运转，同时能够保持与齿轮和转子之间的间隙。

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