润湿角 真空管式气氛炉销售公司

天津中环电炉股份有限公司
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产品用途
pecvd系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
产品组成
pecvd系统配置；
1.1200度开启式滑动单温区真空管式炉
2.等离子射频电源
3.多路流量控制系统
4.真空系统单独购买
产品特点
电源范围广；温度范围宽；溅射区域长；整管可调；精致小巧，---，可实现快速升降温，是实验室生长薄膜石墨烯，金属薄膜，陶瓷薄膜，复合薄膜等的理想选择，也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。


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