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近年来,在-集成电路生产用洁净厂房中常常采用隧道式送风、集中送风和风机过滤单元ffu送风方式,各类机房的布置基本采用“混合设置”的方式,即新风处理机集中设置,循环空气机组分散设置。三、洁净室在布置时,应尽量避开变形缝,以利维护结构的密闭性为了---洁净室围护结构的气密性(抗渗性)，避免裂缝，除了围护结构的材料选择和结构处理外，还应使主体结构具有---的抗震性能、温度变形控制性能和基础不均匀沉降性能。在多发区，主体结构应具有---的整体性和足够的刚度，洁净室主体结构应尽量受力均匀，车间变形缝应尽量避免穿过洁净区。

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