高纯气体管路的设计要点:
1.对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要---规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/s,可燃性气体小于10ml/s,毒性/腐蚀性气体小于8ml/s,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。10、供气系统安装完成后,根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。
3.根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以---供气系统的安全、---运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。
5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置---的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。
7.在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了---末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量包括尘粒控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端气体过滤器。
实验室气体的供气方式
采用中压供气,二级减压的供气方式,气瓶气体压力为12.5mpa,经一级减压后为1mpa管路压力1mpa,送至用气点,经二级减压后为0.3——0.5 mpa根据仪器需求送至仪器,供气压力比较稳定。
实验室气体管道的材质要求
1对所有气体无渗透性
2吸附效应很少
3对所输送的气体呈化学惰性
4能快速使输送的气体达到平衡
注:化学物质腐蚀影响等级 a—没有影响 b—轻微影响 c—中度影响 d—---影响
316不锈钢是继304不锈钢之后,第二个得到广泛应用的钢种,具有较好的耐腐蚀性,耐高温,强度优i秀等特点,所以我们一直用 316无缝不锈钢管。
实验室供气系统设计要点
1通过气瓶和输送管道将载气输送给仪器,在气瓶出口装有单向阀,可避免更换气瓶时有空气和水分混入,另外在一端安装泄压开关球阀,将多余的空气和水分排放后再接入仪器管道,---仪器用气的纯度。
2集中供气系统采用二级减压---压力的稳定,采用二级减压的方式,一是,经过第i一级减压后,干路压力比气瓶压力---降低,起到了缓冲管道压力的作用,提高了用气的安全,降低了应用的风险,二是---仪器供气入口压力的稳定,降低了因为气体压力波动而引起的测量误差,---了仪器使用的稳定性。联接时根据气体的性质、压力和温度选用不同的法兰和密封垫片,利用螺栓夹紧垫片保持密封。
3由于实验室有些仪器需要使用易i燃气体,如甲i烷,乙i炔,氢气,做这易i燃气体的管路时,应注意管路尽量短,减少中间接头的连接,同时,气瓶一定装入防爆气瓶柜内,气瓶输出端接回火器,可阻止火焰回流气瓶引起的爆i炸,防爆气瓶柜顶端应有连接到室外的通风排气口,且有泄漏报警装置,一旦泄漏能及---警并将气体排到室外。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按现行有关规定执行。
实验室气体管道工程系统
目前主流气路编排主要是实验室集中供气系统。
实验室集中供气系统的特点:安全性、洁净度、稳定性、经济性、操作便捷性和美观性。
实验室集中供气系统主要由气源、切换装置、管道系统、调压装置、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易i燃易i爆气体,如氢气、乙i炔等,可能在设计和施工过程中稍有差异,必须加入阻火器防止火苗串入。
集中供气操作原理:实验室供气有二级减压和多级减压。
二级减压即气瓶端采用一级减压阀和末端采用一级减压阀来达到二级减压的目的。实验室一般采用二级减压,这样可以---气体的纯度和节约成本,也能达到多级减压的效果()。
多级减压即气瓶端采用二级减压阀或多级减压阀和末端采用二级减压阀或多级减压阀来达到多级减压的目的。减压效果同二级减压效果差不多,但成本会更高。
实验室集中供气包括:气体泄漏报警与低压报警。
气体泄漏报警:对于易i燃、易i爆、有毒、腐蚀性气体,在气瓶间与使用点处安装泄漏侦测探头,如果气瓶房气体发生泄漏的话,感应探头会即刻将信号传至中心实验室的液晶显示瓶上,并发出预警的声音,这样用户就可以发即时维修。
低压报警:当用户在实验室工作时,需要知道气体是否快要用尽,气瓶压力是否足够,这对实验室实现不间断气体供应是很重要的。
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