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pvd镀膜技术与您分享pvd真空蒸发镀膜

01、定义

pvd真空蒸发镀膜是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质使之汽化，蒸发粒子流直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。

02、真空蒸发踱膜主要经历

1、采用各种能源方式转换成热能， 加热膜材使之蒸发或升华， 成为具有一定能星 ( 0霉 1/->;j0 . 3 e v) 的气态粒子原子、分子和原子团；

2 、离开膜材表面，具 有相当运动速度的气态粒子以基本上无碰撞的直线飞行输运到基体表面；

3、到达基体表面的气态粒子凝聚形核后生长成固相薄膜；

4、组 成 薄 膜 的 原子重组排列或产生化学键合；

03、原理及特点

原理：

热蒸发是在真空状况下，将所要蒸锻的材料利用电阻加热达到熔化温度，使原子蒸发，到达并附着在基板表面上的一种锻膜技术。

特点：

设备简单、操作容易

海膜纯度高，---， 厚度可控

速率快、、可用掩膜 获得清晰图形

薄膜生长机理比较单纯

缺点：

不易获得结晶结构的薄膜

粘膜与基片附着力小

pvd镀膜技术与您分享真空镀膜产品长时间暴露在空气中，仍然难以抵抗强腐蚀性物质的接触如酸和碱。 因此，在正常维护期间，请勿使用洁厕清洁剂，脱漆剂，金属清洁剂等含有强酸和强碱或强去污能力的清洁剂，而应使用工业酒精轻轻擦拭。---绒布如果表面上有污垢，还应选择弱酸和弱碱溶剂进行处理。 此外，如果长时间暴露在---的环境中或长时间与腐蚀性液体接触，pvd膜层也容易脱落和其他问题，例如游泳池中含有---物，海水也含有盐分高，高温高湿的蒸汽。

维护和保养方法

1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

方法是：用naoh饱和溶液反复擦洗真空室内壁， 注意人体皮肤不可以直接接触溶液，以免灼伤目的是使镀上去的膜料铝al与naoh发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。

2、当粗抽泵滑阀泵，旋片泵连续工作一个月雨季减半，需更换新油。

方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量油视镜观察。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

3、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入---，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6x10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气---后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。

pvd镀膜技术与您分享 pvd镀膜加工生产故障是每个pvd镀膜企业都会遇到的问题，排除故障是pvd镀膜---的重要职责。pvd镀膜实践出真知，pvd镀膜生产的实践性很强。要在调控pvd镀膜生产的全过程中做到遇障不惊，pvd镀膜途径就是在生产实践中摸爬滚打、坚韧实干善于思考，不断探索和积累等。