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对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室，由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gb标准，采用0.45m/s．但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是---的，为了节能，也都在探求降低速一风速的可行性。1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，---是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。在我国，《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范都是这样规定的垂直平行流层流洁净室***0.25m/s水平平行流层流洁净室***0.35 m/s

并装局部洁净室(clean spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之hepa或ulpa及空调送风机组而成为一较之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。

洁净室净化工程设计应---安全生产和满足环境保护的要求。洁净室净化工程的稍置和各项设施的设计均必须符合消防、防火的要求，应按的有关标准、规范进行设计，由于洁净室净化工程内的平面和空间扣置持殊、走道曲折等特点，在进行各项技术设施的系统设计、设备配置和材质选样时，加---注意按规定选用符合要求的系统、没备和材质。4、各类实验室施工工艺方法、人体工程学原理知识、可持续发展方案。