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inficon电容薄膜真空计作为inficon电容式传感器的一种，能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。inficon电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中，真空规管将真空度转化成电容量，测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。

inficon电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法，其电容变化量为几飞法甚至更小。inficon电容薄膜真空规管的敏感电容具有不同结构，包括单侧电极结构、双侧电极结构以及静电力平衡结构，不同结构的敏感电容其电容变化量不同。另外，inficon电容薄膜真空计要求测量电路功耗低、易集成，考虑到寄生电容和电磁干扰及温度的影响，准确测量inficon电容薄膜真空规管的微小电容是一个难题。

针对不同结构的敏感电容，提出了多种微小电容测量方法。1.单侧电极微小电容测量敏感电容为单侧电极的inficon电容薄膜真空规管结构简单，在inficon制造及封装工艺下易于实现。如图1所示，感压薄膜上的电极与硅基底上的电极组成了一个随真空度变化而变化的敏感电容。由于只存在单一的敏感电容，测量电路中往往需要引入一电容值与敏感电容初值相等的固值参考电容。

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2022年，将再次鼓足干劲扶持关键技术科技攻关，做好现阶段产品提升升级和品牌推广，做好后面的---开发和科技成果转化，为所高发展作出贡献，以身体力行为建设重大工程的顺利进行给予高---准确测量技术性---。

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热偶真空计工作中特点热偶真空计是相对性真空计，其工作压力-热偶电势差相匹配值无法用计算方式准确求取，因而，经常在规范自然环境情况下，用肯定真空计或用校正系统软件经校正明确。在一定的加温电流量情况下，适用dl-3型规管的热偶真空计对干躁气体的校准曲线如下图4-9和图4-10所显示。

dl-3型热偶真空计的校准曲线(10～10-1pa)图4-10dl-3型热偶真空计的校准曲线(102～10pa)由图4-10可以看出，当工作压力从0.1mpa逐渐逐步减少(图上未画出)的一段工作压力区域内，热偶电势差e一直在零值周边，其---原因是气体分子结构多，传输走的卡路里多，因此热丝温度低，热偶电势差e亦低，并且这时(λ≤r1)导热与工作压力不相干，故热偶电势差e不转变(小量转变是气体热对流造成的)。

当气体压力至102pa时，热偶电势差e逐渐扩大，这也是因为这时气体传输走的-量降低，热丝温度已上升。当工作压力p再次下降时，热偶电势差再次扩大，可是愈来愈迟缓，很后趋向一定值。自此，p再减少，e---转变，即热偶真空计已做到其准确测量限，这一限为其准确测量低值，约为10-1pa。为了---地应用上的便捷，通常依照p—e校准曲线将微伏计的标尺改为真空值。用那样标尺的真空计准确测量时，可立即读取真空值，从此不用依据测定的p-e校准曲线查被测真空值。