天津不导电样品电镜分析在线咨询 天津9D实验室

扫描电子显微镜的功能

　　1、扫描电子显微镜追求固体物---分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器sei)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)

　　2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，微区化学成分分析

　　1)用x射线能谱仪或波谱(eds/wds)采集特征x射线信号，生成与样品形貌相对应的，元素面分布图或者进行化学成分定性定量分析，相鉴定。

　　2)利用背散射电子(bse)基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差，生成化学成分相的分布图像；

　　3)利用阴极荧光，基于某些痕量元素(如过渡金属元素，稀土元素等)受电子束激发的光强反差，生成的痕量元素分布图像。

从电子中发射出高能电子束撞击样品表面,与原子的内层电子发生

从电子中发射出高能电子束撞击样品表面，与原子的内层电子发生非弹性散射作用时，使原子发生电离，从而使原子失去一个内层电子而变成离子，并在该电子层对应位置产生一个空穴，原子为了恢复到稳定态，较外层的电子就会填补到这个空穴，在填补过程中同时会产生具有特征能量的x射线，探测器接收到这些特征x射线后，经过分析处理转换得到谱图和分析数据输出。

当以背散射电子为调制信号时，由于背散射电子能量比较高，穿透能力强，可从样品中较深的区域逸出(约为有效作用---的30%左右)。在此---范围，入射电子已有了相当宽的侧向扩展，所以背散射电子像分辨率要比二次电子像低，一般在500～2000nm左右。

如何选择高加速电压的缺点

加速电压越高入射电子束的波长越短，也就越容易得到高分辨力的图像，还有抗外部电磁场的干扰能力也会增强，也不易受到试样表层污染斑的影响，所以高的加速电压比较适合拍摄高倍率的图像。

选择高加速电压的缺点，所获得的图像会缺少表面信息和细节，易呈现高反差，---是会明显变大边缘效应，使得到的图像欠柔和，也会使图像容易呈现生硬的感觉。另外，高的加速电压、大的束斑也容易造成试样的放电和损伤，以及图形的漂移。