爱德华真空泵中国代理免费咨询「明胜机电」

em 系列泵是结实---的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr30 到 206 cfm。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备---的润滑回路，---性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。5kw20oc时的冷却水流量1lmin-11lmin-14lmin-14lmin-15。 edwards e2m80 油封式旋片真空泵 爱德华真空泵edwards真空泵 旋片泵 油回转高真空泵 爱德华 e2m80 油封式旋片真空泵 edwards真空泵

edward爱德华eh1200罗茨泵维修保养 漏气，有-死

eh1200是德国edward爱德华eh系列罗茨泵，这款泵是比较大的，罗茨泵不能单独使用，一般是可以搭配螺杆泵或者旋片泵使用。其他进口螺杆真空泵维修型号：eh250，eh500，eh1200, eh2600，eh4200

提供进口罗茨泵维修保养，维修品牌包括：莱宝、爱德华、aerzen, kaesser, dresser, hibon, robuschi, rkr等进口品牌；罗茨泵维修提供莱宝wsu系列、wau系列和爱德华eh系列等；

爱德华罗茨泵维修因为结构不一样，所以它和油封封e2m80的维修方法有点不一样，出现的故障也不一样。像罗茨泵一般会出现的问题是

1.-、

2.卡死、

3.抽气量不足、

4.性能不稳定、

5.噪音大等故障；

温馨提示：如果爱德华eh1200罗茨泵漏气，有-死，记得----罗茨真空泵维修厂家，不可擅自处理，以免引起其他---的故障反应。

半导体加工我们继续---技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的---拥有成本要求。

所有居于---的制程工具 oem，以及全球每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷即晶圆的图案形成是半导体 制程中的一个关键步骤。技术数据gv80gv160gv250gv400gv600构造3爪+1杆2爪+1杆3爪式3爪式3爪+1杆排量工作容积91。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (euv) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。edward可以让您有效应对这两种应用。

euv 平版印刷泵送解决方案

多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 euv 平版印刷，因为轻型 euv 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。低振动的清洁真空对于---系统的精密性和长正常运行时间---。我们 与 euv 平版印刷 oem 和光源 oem 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型投资提供 ---性。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于---系统的精密性 和长正常运行时间---。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (tmp) 以便 在您的制程工具上实现真空。我们的 stp 系列 tmp 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。供应英国爱德华19号真空泵油，---规格4l/208l现货，爱德华真空泵油用于e2m175/275/80/40,油式旋片泵，看真空泵型号选用油号对用，因为真空泵油粘度不一样。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。

化学气相沉淀化学气相沉淀 (cvd) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。drystargv400和eh2600/eh4200泵组系列结合了经过实际应用检验的edward爪式干泵和液压驱动增压泵。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用---之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。

干泵选择

cvd 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能---粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。爱德华过滤器主要作用：真空泵油过滤器是很多进口真空泵品牌配置的一种油过滤装置，主要过滤颗粒杂质粉尘，保持真空泵油，提高真空泵使用寿命。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以---泵在应力下保持 旋转。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要---可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。无论您需要什么样的支持，我们都能帮助您让设备在您的应用中发挥佳性能。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 cvd 制程，需要在温度设上 达到平衡，以---避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。