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       真空泵工作原理是什么？

       2、罗茨真空泵工作原理

       罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。因为转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，进而经排气口排出。因为吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体沒有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，因为排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然升高。当转子继续运转时，气体排出泵外。

       旋片式真空泵结构：

       旋片式真空泵是一种容积泵，它借助于旋片在泵腔中连续运转将气体吸入并压缩，较为后由排气口排出。泵主要由定子、转子、旋片等组成，转子被偏心地装入定子腔内。转子槽中有两块旋片，旋片弹簧置于两旋片之间。定子上的进、排气口被转子和旋片分离为两部分。

       当转子在定子腔内旋转时，旋片在弹簧张力与本身离心力的共同作用下其端部紧贴于泵腔内壁滑动，周期性地将进气口侧的腔内容积扩大而吸入气体，同时逐渐缩小排气口的容积，将已吸入的气体压缩，然后从排气口排出从而达到抽气的目的。

       涡旋真空泵由涡旋式压缩机演变而来，机构原理早由法---cruex于1905年发明，但受限于当时的工艺技术并未应用于实际，直到上世纪80年代前后才应用于真空技术领域。其结构简单，零部件少；间隙小、泄漏率小，具有较高的压缩比，在较宽压力范围内有稳定的抽速；并且其压缩腔内容积的变化是连续的，因而驱动力矩变化小，功率变化小；振动噪声小，无需冷却水与润滑油，维护简单，---性高。

       由于涡旋式真空泵自身型线的特点，一般情况下，涡旋式真空泵泵的抽速不超过1000l/min；抽速大于4l/s的涡旋泵一般采用双侧涡旋结构，而抽速小于4l/s的则多采用单侧涡旋结构，---真空在1pa左右。