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高分辨力扫描电子显微镜的工作经验

在目前微观形貌的分析研究中，随着半导体器件等-的发展，往往要求对表面的细微结构能够更深入地观察和了解，因此发展高分辨力的电镜一直是生产厂商和用户们所追求的共同目标。要获得一张清晰、高分辨的照片，不仅要有一台性能---的高分辨力扫描电子显微镜，而且还取决于试样自身的特征和操作人员的工作经验，即要考虑以下几种因素：

1入射电子束的束流密度要足够大，而且稳定***电子源的发射问题。

2入射电子束的束斑是否足够细、足够旋转对称圆，涉及电子透镜的设计、加工和装配水平，以及镜筒受污染的影响程度等***探针的形成问题。

复合材料界面区的二次电子像

为了观察到复合材料界面区的二次电子像，应用某种方法将材料的界面区域暴露于试样表面。例如：

　　将纤维增强复合材料中的纤维拉出，暴露出纤维表面和原先与纤维相结合的基体表面，这是受到或多或少损坏的界面。

　　另一个常用的方法是对复合材料施力，使其沿设定的方向断裂。对脆性材料，可在常温下实施；而对韧性复合材料，可用冷冻断裂法，在液氮温度下将材料脆性断裂，暴露出包含基体、增强体和界面的区域。

　　还有一种方法是将暴露了界面区的端面或断裂面，在超薄切片机上用金刚石刀或玻璃刀切平。

扫描电镜分辨率与电子在试样上的小扫描范围有关

扫描电镜分辨率与电子在试样上的小扫描范围有关，电子束斑越小，电子在试样上的分辨率越高。在---束斑足够小的情况下，电子束还要有足够的强度。束流太低不能从试样表面激发足够的信号，噪声影响大。二次电子对形貌敏感。凸起部位亮，凹陷部位暗，景深好，细节清晰。 　　背散射电子对原子序数敏感，原子序数高的区域能得到更多的背散射电子，相应图像较亮，可以用来观察材料成分的分部。 　　原子被激发会发出，每种元素受激发射发出的会不同，通过对不同x进行检测，就可知道材料中包括什么元素和比例。