天津生物样品电镜分析- 天津9D实验室

全自动扫描电镜是工业发展的---科技

全自动扫描电镜由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像，热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射上，电磁透镜*。

全自动扫描电镜通常会装配两组：汇聚透镜：顾名思义，汇聚透镜用汇聚电子束，装配在真空柱中，位于电子枪之下。通常---一个，并有一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束，与成像会焦无关 。物镜：物镜为真空柱中下方的一个电磁透镜，它负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。

电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子以及x射线等一系列信号，所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、x射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要 的信息，虽然x射线信号不能用于成像，但习惯上，仍然将x射线分析系统划分到成像系统中。与普通光学显微镜不同，在全自动扫描电镜中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的，如果需要更高的放大率，只需 要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。

扫描电子显微镜的基本结构

扫描电子显微镜的基本结构：

　　扫描电子显微镜是运用材料表面微区的特征如形貌、原子序数、化学成分或者晶体结构等的差异，在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异，从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或者吸收电子，此中二次电子是主要的成像信号。高能电子束轰击样品表面，激发出样品表面的各种物理信号，再利用不同的接受物理信号转换成图像信息。

　　扫描电子显微镜除了可以测试二次电子图像之外，还可以测试背散射电子、透射电子、特征x射线以及阴极发光等信号图像。它的成像原理和二次电子像一样。在进行扫描电子显微镜观察之前，要对样品作相应的处理。

台式扫描电镜的性能与基本结构

台式扫描电镜的特点：

　　制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等，对于导电材料，能够直接放入样品室进行分析，对于导电性差或者绝缘的样品那么就需要喷镀导电层。

　　台式扫描电镜的基本结构：

　　从结构上来看，台式扫描电镜主要是由七大系统组合而成的，也就是电子光学系统、信号探测处理与显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统以及电源供给系统。

　　此中重要的三个系统是电子光学系统、信号探测处理还有显示系统以及真空系统

扫描电镜

扫描电镜的类型各式各样,不同类型的扫描电镜可能会存在性能上的差异。按照电子种类可以分成三种，种是场发射电子，第二种是钨丝，第三种是六硼化---。此中,场发射扫描电镜按照光源性能可以分成冷场发射扫描电子显微镜以及热场发射扫描电镜。冷场发射扫描电子显微镜对真空条件要求十分高,束流不稳固,发射体使用寿命比较短,需要固定时间对针尖进行清洁,只局限于单一的图像观察,使用范围有限；而且热场发射扫描电子显微镜不单单连续工作时间长,还可以和多种附件搭配实现综合分析。在地质领域当中,我们不仅需要对样品进行初步形貌观察,还需要结合分析仪对样品的其它性质进行分析,因此热场发射扫描电镜的使用广泛。