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透明胶带溅射沉积技术

在气中对目标施加高压时，便会形成 ar+ 和电子组成的等离子体。 ar+ 在电场中加速，会对目标产生影响，终喷射出目标物质。 有些情况下，喷射出的原子会直接沉淀到基膜上，而另一些情况下，如果如氧气等活性气体混入气中时，则会沉淀出包含目标物质和氧气的化合物。 ito 透明导电膜便属于后一种，通过补充 in2o3-sno2 目标物质中的氧气在分解过程中失去形成。