高埗低压化学气相沉积-「拉奇纳米」

　　真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技能为基础，使用物理或化学办法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技能，为科学研究和实践出产供应薄膜制备的一种新工艺。

真空镀膜加工的基本技能要求

1、设备中的真空管道、静态密封零部件法兰、密封圈等的结构形式，应契合gb/t6070的规则。

2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应设备真空丈量规管，分别丈量各部位的真空度。当发现电场对丈量造成搅扰时，应在丈量口处设备电场屏蔽设备。

3、假如设备运用的主泵为分散泵时，应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱

4、设备的镀膜室应设有观察窗，应设有挡板设备。观察窗应能观察到堆积源的作业情况以及其他关键部位。

真空镀膜运用是真空运用中的一个大支系，在电子光学、电力电子技术、物理化学仪器设备、包裝、机械设备及其金属表面处理技术性等诸多层面拥有 十分普遍的运用。真空镀膜运用，简易地了解便是在真空自然环境下，利用蒸镀、磁控溅射及其接着凝固的方法，在金属材料、夹层玻璃、瓷器、半导体材料及其塑件等物件上镶上金属材料塑料薄膜或是是土壤层。

真空镀膜加工则是相对于上述的湿式镀膜方法而发展起来的一种新型镀膜技术，通常称为干式镀膜技术。

       真空镀膜技术的特点：

      1、镀覆材料广泛：可作为真空镀蒸发材料有几十种，包括金属、合金和非金属。真空镀膜加工还可以像多层电镀一样，加工出多层结构的复合膜，满足对涂层各种不同性能的需求。

      2、真空镀膜技术可以实现不能通过电沉积方法形成镀层的涂覆：如铝、钛、锆等镀层,甚至陶瓷和金刚石涂层，这是十分难能可贵的。

      3、真空镀膜---良：真空镀膜厚度远小于电镀层。但涂层的耐摩擦和耐腐蚀性能---。孔隙率低，而且无氢脆现象，相对电镀加工而言可以节约大量金属材料。

      4、环境效益优异：真空镀膜加工设备简单、占地面积小、生产环境优雅洁净，无污水排放，不会对环境和操作者造成危害。在注重环境保护和大力推行清洁生产的形势下，真空镀膜技术在许多方面可以取代电镀加工。