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测定超痕量元素和同位素比值的仪器。由等离子体发生器，雾化室，炬管，四极质谱仪和一个快速通道电子倍增管(称为离子探测器或收集器)组成。其工作原理是:将溶液样品送入等离子体光源，在高温下汽化,解离出离子化气体,通过铜或镍取样锥收集的离子,在低真空约133.322帕压力下形成分子束,再通过1~2毫米直径的截取板进入四极质谱分析器，经滤质器分离后，到达离子探测器，根据探测器的计数与浓度的比例关系,可测出元素的含量或同位素比值。其优点是:具有很低的检出限(达ng/ml或---)，基体效应小,谱线简单，能同时测定许多元素，动态线性范围宽及能快速测定同位素比值。地质学中用于测定岩石、矿石、矿物、包裹体，地下水中微量、痕量和超痕量的金属元素，某些卤素元素、非金属元素及元素的同位素比值。
---检测领域icp-ms测定土壤中微量元素指纹，利用多元素统计分析方法为---调查提供依据。该实验布置了模拟现场，从---的汽车坐垫以及现场的邻近区域、比较远的区域提取土壤进行分析，作为对比再从美国其他三个地区收集土壤，微波消解icp-ms分析li、be、mg等22种元素，利用多元统计方法对数据进行评价。结果发现，有8组同学正确的分类终的位置，但是由于---的复杂性，区分不同的土地区域和地理位置的土壤元素指纹方法还存在潜在的缺陷。然而，这项以调查为基础的分析实验，拓展了icp-ms的可能潜在应用，激发了学生的学习热情。
电感耦合等离子体质谱(icp-ms)是20世纪80年代早期发展起来的商品化的分析技术。这项技术已经应用于几乎所有分析领域内痕量、微量和常量元素的测定。
该技术的优势包括:
1元素覆盖范围宽：包括碱金属、碱土金属、过渡金属和其它金属类金属、稀土元 素、大部分卤素和一些非金属元素；
2性能好：灵敏度高，背景信号低，检出限极低； 分析速度快：由于四极杆分析器的扫描速度快，每个样品全元素测定只需大约4分钟；
3线性范围宽：一次测量线性范围能覆盖9个数量级；能够提供同位素的信息。
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