爱德华真空泵代理在线咨询「明胜机电」

沦分子泵是一套速、超真空的装置，它的旋转速度---90000rpm1500转／秒，形成的超真空度可以低到5x10-10pa以下十亿分之二个---压，并且它设计紧凑，体积小，重量轻。主要有两个系列：stp和ext，主要区别是ext系列的回转轴承是陶瓷的，而stp系列的回转轴承是用磁性材料制成的。爱德华真空泵性格技术参数一、xd系列干泵涡旋泵真空腔内无润滑油脂从而---无污染。

五、罗兹泵

edwards在全球早推出高抽速的罗茨泵，其抽气率从240m3／h到4500m3／h，---真空10-3mbar。在低真空中有---的抽气率，常串油式或干式泵使用

六、真空计

爱德华真空计测量范围从2000-10-11mbar，内设---的微处理器控制；

爱德华真空泵维修经过长期工作后经常会出现的问题就是漏油，关于这个问题怎么维修呢？我们要先了解出现故障的原因：1.真空系统或进气管路读书或泄露

2.真空泵油被污染或变质

3.排气过滤器堵塞

4.进气过滤器或进气滤网堵塞

5.吸气阀被污物卡死

6.进气或排气管道过长或管径太小

7.油管泄漏或损坏

8.密封圈或轴封泄漏

9.排气阀损坏或卡死

10.叶片卡死或损坏

11.转子和泵体的间隙不对

12.真空泵内部零件损坏爱德华e2m80真空泵

半导体加工我们继续---技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的---拥有成本要求。

所有居于---的制程工具 oem，以及全球每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷即晶圆的图案形成是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (euv) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。edward可以让您有效应对这两种应用。尤其是需要含氟的清洁制程来保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基可能会侵蚀泵的内表面。

euv 平版印刷泵送解决方案

多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 euv 平版印刷，因为轻型 euv 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 euv 平版印刷 oem 和光源 oem 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型投资提供 ---性。您是否考虑过让我们的---常驻或访问您的现场并与您开展合作。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于---系统的精密性 和长正常运行时间---。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (tmp) 以便 在您的制程工具上实现真空。我们的 stp 系列 tmp 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。爱德华罗茨泵维修因为结构不一样，所以它和油封封e2m80的维修方法有点不一样，出现的故障也不一样。

真空泵抽气量不足的原因及解决方法是什么？

看看进气口和排气口是否接错了，三相泵的话看看是不是电机反转了。如果真空泵电机还是好的。而且如果是不同工作方式的泵，不能正常工作的原因还是有所区别的，不能一概而论。

真空泵抽气量不足的故障原因：

泵的转速低于规定转速。

叶轮与端盖的间隙过大。

填料室密封漏气。

吸入管道漏气。

供水不组。

水环温度过高。