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电子洁净厂房工艺冷却水和纯水管材的选择

工艺冷却水管道主要有不锈钢管道及塑料管道两种。

1不锈钢管道

   根据工艺冷却水的水质要求，ss304不锈钢管即可满足要求，但是半导体、tft行业通常采用纯水制备过程中产生的反渗透ro出水作为工艺冷却水的补充水源，而ro出水根据纯水制备工艺流程的不同其酸碱度也有所不同。当水的ph值呈中性或弱碱性时，可采用ss304不锈钢，当水的ph值呈酸时ro出水在不加碱的情况下通常呈酸性，需采用抗酸性好的ss304l不锈钢。考虑施工对象和施工环境的洁净、卫生、美观，无尘厂房施工工艺必须符合---的要求。

山东康德莱净化工程有限公司多年致力于空调洁净技术的开发与研究。主要从事于医行业、食品行业、---行业、电子行业的局部环境的无尘和无菌环境的设计、安装和检测等业务以及家庭和工作环境的新风净化系统的集设计、制造、安装、维护、保养于一体的大型工程设计安装的净化工程公司。1、电子产品对空气洁净有较高要求一般来说，我们用空气中尘埃微粒的浓度和空气中尘埃微粒的粒径来衡量空气洁净程度。

---洁净车间空气洁净度等级，“---生产管理规范”---中规定：---生产的洁净厂房内的生产环境参数如：温度和相对湿度以及压差等均是由生产工艺决定的，一般温度为18℃~24℃，相对湿度为45%~65%。在“---生产管理规范”---的实施指南中规定的比较具体。即---生产洁净厂房中的温度和相对湿度是以穿洁净工作服的操作人员不产生不舒服、不舒适为基准的。因此，生物制造净化的车间的温度在无特殊要求下，控制在在18-26℃，相对湿度控制在45%-65%。

无菌---的生产所需的洁净区可以分为四个级别

：高风险操作区，如灌装区、放置胶塞桶和与无菌制剂直接接触的敞口包装容器的区域及无菌装配或连接操作的区域，应当用单向流操作台罩维持该区的环境状态。单向流系统在其工作区域必须均匀送风，风速为0.36-0.54m/s指导值。应当有数据证明单向流的状态并经过验证。在密闭的隔离操作器或手套箱内，可使用较低的风速。净化车间是指将一定空间范围空气中的微粒子、有害空气、---等污染排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪声振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而---设计的房间。

b 级：指无菌配制和灌装等高风险操作洁净区所处的背景区域。

c 级和d 级：指无菌---生产过程中重要程度较低操作步骤的洁净区。

以上各级别空气悬浮粒子的标准与iso14644-1中洁净度等级以***0.5μm和***5μm的悬浮粒子为限度标准的关系。

制药---车间洁净度等级要求

洁净区空气悬浮粒子的标准(用尘埃粒子计数器检测

洁净度等级空气中悬浮粒子允许浓度个/m3静态动态***0.5 μm***5.0 μm***0.5 μm***5.0 μm352020352020b级3520293520002900c级3520002900352000029000d级352000029000不作规定不作规定

洁净区微生物监测的动态等级标准可用浮游菌采样器检测

洁净度等级浮游菌

cfu/m3沉降菌φ90 mm

cfu/4h表面微生物接触φ55 mm

cfu/碟5指手套

cfu/手套<1<1<1<1b级10555c级1005025/d级20010050/ 注：此表摘自《---生产管理规范2010版》

洁净度用于高风险作业区，如：灌装区、放胶塞区、敞口包装容器区和无菌装配区等区域。其单向流区工作区必须均匀送风，其风速为0.36 m/s ~0.54 m/s。确认，每个测点的采样量不得少于1 m3；洁净度为iso 4.8级，并以***5.0 μm悬浮粒子的浓度为限度标准。采样管的长度要短，以勉***5.0 μm的粒子沉降，影响测试结果。单向流应采用等动力采样。净化无尘车间的洁净工作台的构造要求：箱体，用热扎薄钢板与骨架气焊易变形，可采用冷轧薄板折边搭接，大电流电焊，内表面需粘贴消声材料，至大尺寸应以通过一般房门为宜。

洁净度b级用于洁净度区域的背景区域。静态洁净度为iso 5级。

c级和d级用于无菌---生产过程中工艺要求洁净较低的区域。c级静态和动态分别为iso 7级和iso 8级。d级静态为iso 8级。

动态可采用培养基模拟灌装过程以证明达到动态洁净度级别。

日常动态监测

新版---规定生产工作结束，作业人员离开现场经过15-20分钟自净后，洁净室的洁净度应达到“静态”标准。

日常动态监测项目：洁净度、温度、相对湿度、压力梯度等。

微生物的动态监测

微生物的日常动态监测方法：沉降菌法、定量空气浮游菌采样法、表面取样法等。

2、对温湿度有严格要求

　　在电子生产中，过高或者过低的温湿度都会对产品造成---影响。例如；湿度过大，会导---子元器件漏击穿、材料老化；湿度过低又会导致塑料、绝缘材料干燥收缩、变形甚至龟裂。温度过高会导致元器件膨胀，导致尺寸变化、位置偏移、机构变形，影响产品。

　　3、对静电有严格要求

　　在微电子器件生产过程中，各种因素产生的静电电压，往往会超过电子器件对静电的灵敏度范围，导---子设备出现故障，损坏设备内部各元器件，引起设备误动。静电还会吸尘，容易积蓄灰尘，导致设备通风散热受到很大影响，导致机械零件出现---磨损，从而影响设备的使用寿命。(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回系统回，尘埃随向排出室外，一般在---侧污染较---。

净化车间是指将一定空间范围空气中的微粒子、有害空气、---等污染排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪声振动及照 明、静电控制在某一需求范围内，而---设计的房间。通常来说，车间温湿度控制需要根据生产加工工艺确定，因此不同行业对车间的温湿度控制要求就有所不同。4、层流罩层流罩主要由箱体、风机、---空气过滤器、初效过滤器、多孔板、控制器组成，外壳冷板喷塑或不锈钢板。 　　1、电子制造业净化车间温湿度标准

　　芯片生产车间、集成电路洁净室和磁盘制造车间是属于电子制造行业净化车间的重要组成部分，由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境品质的要求---严格，以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间。2、传递窗传递窗同样是净化工程中常见的设备，主要用于洁净区域和非洁净区域之间物品的传递。